松下貼片機(jī)MSF 2 STAGE不定時的整體偏移
松下貼片機(jī)MSF 2 STAGE不定時的整體偏移
現(xiàn)象描述：
一臺MSF 2 STAGE在生產(chǎn)不定時的整體偏移,每天有10來片.MARK,軌道的夾邊,定位.我都CHECK過了.在之前我們沒動過什么啊!是不是DRIVE有問題啊!還是程式有問題啊!
分析處理：
1. 檢查光柵尺沾污沒有啊，如果沒有沾污就檢查一下光柵讀取器有沒有問題。有必要校正一下。
2.本身的程序，定位狀態(tài)，氣源狀態(tài)，MARK狀態(tài)，*后是機(jī)器狀態(tài)。
3. 如果TABLE上升下降很慢，懷疑是MARK TEACH 后，TABLE還沒有頂?shù)轿弧?/span>
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